| 标准号： |
DIN 50451-7-2017 |
| 英文名称： |
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 7: Determination of 31 elements in high-purity hydrochloric acid by ICP-MS |
| 中标分类： |
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| 发布日期： |
2017-09-00 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
半导体材料>>半导体材料 |
| 起草单位/标准公告： |
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP);Materials Testing Standards Committee |
| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Essai des matériaux pour la technologie des semi-conducteurs - Dosage des éléments en traces dans les liquides - Partie 7: Détermination de 31 éléments dans l'acide chlorhydrique de haute pureté par ICP-MS |
| 页数： |
14P.;A4 |
| 附注： |
History:DIN 50451-7-2017-09;DIN 50451-7-2017-02 |
| 被代替标准： |
DIN 50451-7-2017-02 |
| 内容提要（EN）： |
Ammonium;Definitions;Elements;Etch mixtures;High-purity;Hydrochloric acid;ICP;Inductively Coupled Plasma;Liquids;Mass spectrometry;Materials testing;Samples;Sampling methods;Semiconductor technology;Semiconductors;Testing;Trace elements |
| 内容提要（QT）： |
Semi-conducteur;Définition;Essai de matériaux;ICP;Matériau de semi-conducteur;Technologie de semi-conducteur;Méthode d'échantillonnage;Ammonium;Oligo-éléments;Spectrométrie de masse;Production de semi-conducteur;Dopage de semi-conducteur;Acide chlorhydrique;Liquide;Fabrication de semi-conducteur;Echantillon;Essai;Elément |
| 归属： |
德国 |
