| 标准分类 Standards |
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| 中文名称：表面化学分析.采用全反射X射线荧光(TXRF)光谱法对硅片表面元素污染物的测定 |
| 标准号:BS ISO 14706-2014 |
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| 标准号： |
BS ISO 14706-2014 |
| 英文名称： |
Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy |
| 中标分类： |
冶金>>半金属及半导体材料分析方法 |
| 发布日期： |
2014-07-31 |
| 发布单位： |
GB-BSI |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2014-07-31 |
| ICS分类： |
化学分析>>化学分析 |
| 起草单位/标准公告： |
CII/60 |
| 正文语言： |
英语 |
| 页数： |
36P.;A4 |
| 被代替标准： |
BS ISO 14706-2000 |
| 引用标准： |
ISO 14644-1;ISO 5725-2-1994 |
| 采用关系： |
ISO 14706-2014,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Surface chemistry;Surface properties;Surfaces;Surfactants;Chemical analysis and testing;Contamination;Contaminants;Silicon;Substrates (insulating);X-ray fluorescence spectrometry;X-ray analysis;Fluorimetry;Reflection;Atoms;Density;Epitaxial layers;Impermeability;Freedom from holes;Tightness |
| 归属： |
英国 |
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