| 标准分类 Standards |
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| 中文名称：真空技术. 真空计. 分压测量用四极质谱仪的特性 |
| 标准号:ISO/TS 20175-2018 |
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| 标准号： |
ISO/TS 20175-2018 |
| 英文名称： |
Vacuum technology - Vacuum gauges - Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement |
| 中标分类： |
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| 发布日期： |
2018-0401 |
| 发布单位： |
IX-ISO |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
真空技术>>真空技术 |
| 起草单位/标准公告： |
ISO/TC 112 Vakuumtechnik;ISO/TC 112 Vacuum technology;ISO/TC 112 Technique du vide |
| 正文语言： |
英语 |
| 页数： |
23P.;A4 |
| 附注： |
History:ISO/TS 20175-2018-04 |
| 引用标准： |
DIN 28410-1968;ISO/IEC GUIDE 98-3-2008;ISO 3567-2011;ISO 14291-2012 |
| 采用关系： |
PD ISO/TS 20175-2018,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Atomic mass;Calibration;Characterisations;Definitions;Electrons;Impact;Ionization;Ions;Leaks;Mass;Mass spectrometers;Mass spectrometry;Measuring uncertainty;Monitoring;Parameters;Partial pressure;Partial pressures;Procedures;Processes;Ratios;Vacuum engineering;Vacuum gauges;Vacuum measurement;Vacuum systems;Impulses;Shock;Methods |
| 归属： |
国际 |
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