标准分类 Standards |
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中文名称:气体分配系统组件用金属表面状态的扫描式电子显微镜 (SEM) 分析的标准试验方法 |
标准号:ASTM F1372-1993(2012) |
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标准号: |
ASTM F1372-1993(2012) |
英文名称: |
Standard Test Method for Scanning Electron Microscope (SEM) Analysis of Metallic Surface Condition for Gas Distribution System Components |
中标分类: |
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发布日期: |
1993 |
发布单位: |
US-ASTM |
标准状态: |
请与本站工作人员进行确认 |
确认日期: |
2012 |
ICS分类: |
表面特征>>表面特征 |
起草单位/标准公告: |
F01.10 |
***: |
Test |
页数: |
4P.;A4 |
内容提要(EN): |
components; contamination; gas distribution; metallic surface condition; SEM analysis; semiconductor processing; surface condition |
归属: |
美国 |
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