标准分类 Standards |
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中文名称:利用光电子显微镜和扫描电子显微镜对清洁室擦刷工具释放粒子和纤维的尺寸差异计数的标准试验方法 |
标准号:ASTM E2090-2012 |
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标准号: |
ASTM E2090-2012 |
英文名称: |
Standard Test Method for Size-Differentiated Counting of Particles and Fibers Released from Cleanroom Wipers Using Optical and Scanning Electron Microscopy |
中标分类: |
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发布日期: |
2012 |
发布单位: |
US-ASTM |
标准状态: |
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ICS分类: |
0>>0 |
起草单位/标准公告: |
E21.05 |
***: |
Test |
页数: |
11P.;A4 |
内容提要(CN): |
清洁室擦刷工具;污染控制;膜滤器;光学显微镜;粒子计数和尺寸测量;微粒和纤维;扫描电子显微镜检查法;洁净室(材料/应用);纤维分析;光学电子显微镜;扫描电子显微镜(SEM);尺寸差异的计数 |
内容提要(EN): |
cleanroom wipers; contamination control; membrane filter; optical microscopy; particle counting and sizing; particles and fibers; scanning electron microscopy; Cleanrooms (materials/applications); Fiber analysis; Optical electron microscopy; Particle counters/counting; Scanning electron microscope (SEM); Size-diferentiated counting |
归属: |
美国 |
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