| 标准号： |
GB/T 13388-2009 |
| 英文名称： |
Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques |
| 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料综合 |
| 发布日期： |
2009-10-30 |
| 发布单位： |
CN-GB |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2010-06-01 |
| ICS分类： |
半导体材料>>半导体材料 |
| 起草单位/标准公告： |
有研半导体材料股份有限公司 |
| 正文语言： |
汉语 |
| 页数： |
11P.;A4 |
| 被代替标准： |
GB/T 13388-1992 |
| 引用标准： |
GB/T 1555;GB/T 2828.1;GB/T 12964;GB/T 12965;GB/T 14264;ASTM E82;DIN 50433.3 |
| 采用关系： |
SEMI MF 847-0705,MOD |
| 内容提要（CN）： |
金属;硅;晶体;晶体系统;X射线;结晶;性能试验;半导体 |
| 内容提要（EN）： |
METALS;METAL;SILICON;SILICONE;CRYSTALS;CRYSTAL SYSTEMS;X-RAYS;X RAYS;X-RAY;CRYSTALLIZATION;PERFORMANCE TESTING;PERFORMANCE TESTS |
| 归属： |
中国 |
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