| 标准号： |
DIN 50451-4-2007 |
| 英文名称： |
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS) |
| 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料综合 |
| 发布日期： |
2007-02 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
半导体材料>>半导体材料 |
| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 4: Bestimmung von 34 Elementen in hochreinem Wasser durch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS) |
| 页数： |
13P.;A4 |
| 被代替标准： |
DIN 50451-4-2005 |
| 引用标准： |
DIN 32645;DIN 51401-1;DIN EN ISO 8655-2;DIN EN ISO 14644-1 |
| 内容提要（CN）： |
铝;分析;锑;砷;钡;铍;铋;硼;镉;钙;化学分析和试验;铬;钴;铜;定义;测定;含量测定;镓;锗;高纯净;铟;感应;铁;铅;液体;锂;镁;锰;质谱学;材料;材料试验;金属;钼;镍;硝酸;钯;等离子体;铂;钾;抽样方法;半导体工程;半导体工艺;半导体;银;钠;锶;纯净水;试验;铊;锡;钛;痕量元素;钒;水;锌;锆 |
| 内容提要（EN）： |
Aluminium;Analysis;Antimony;Arsenic;Barium;Beryllium;Bismuth;Boron;Cadmium;Calcium;Chemical analysis and testing;Chromium;Cobalt;Copper;Definition;Definitions;Determination;Determination of content;Gallium;Germanium;High-purity;Indium;Inductive;Iron;Lead;Liquids;Lithium;Magnesium;Manganese;Mass spectrometry;Materials;Materials testing;Metals;Molybdenum;Nickel;Nitric acid;Palladium;Plasma;Platinum;Potassium;Sampling methods;Semiconductor engineering;Semiconductor technology;Semiconductors;Silver;Sodium;Strontium;Superpurity water;Testing;Thallium;Tin;Titanium;Trace elements;Vanadium;Water;Zinc;Zirconium |
| 归属： |
德国 |
