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中文名称:半导体工艺用材料测试.液体中痕量元素测定.第5部分:在每千克微克和每千克豪微克范围之内的痕量元素测定用样品和样品制备装置的材料选择及其适用性试验指南
标准号:DIN 50451-5-2010
标准号: DIN 50451-5-2010
英文名称: Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 5: Guideline for the selection of materials and testing of their suitability for apparatus for sampling and sample preparation for the determination of trace elements in the range of micrograms per kilogram and nanograms per kilogram
中标分类 冶金>>半金属与半导体材料综合
发布日期: 2010-03
发布单位: DE-DIN
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ICS分类 半导体材料>>半导体材料
正文语言 德语
原文名称: Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 5: Leitlinie zur Auswahl von Werkstoffen und Prüfung ihrer Eignung für Ger?te zur Probenahme und Probenvorbereitung für die Elementspuren-Bestimmung im Bereich von Mikrogramm je Kilogramm und Nanogramm je Kilogramm
页数: 11P.;A4
被代替标准: DIN 50451-5-2008
引用标准: DIN 50451-3;DIN 50451-4
内容提要(CN): 化学分析和试验;化学元素;化合物;定义;测定;含量测定;高纯度;杂质;液体;材料选择;材料试验;材料;材料测试;性能试验;抽样方法;选择;半导体工程;半导体工艺;半导体;试样制备;适宜性;试验;痕量元素;水;水污染;防止水污染
内容提要(EN): Chemical analysis and testing;Chemical elements;Chemicals;Definitions;Determination;Determination of content;High-purity;Impurities;Liquids;Material selection;Material tests;Materials;Materials testing;Performance tests;Sampling methods;Selection;Semiconductor engineering;Semiconductor technology;Semiconductors;Specimen preparation;Suitability;Testing;Trace elements;Water;Water pollution;Water pollution prevention
归属: 德国
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