| 标准号： |
DIN 50451-5-2010 |
| 英文名称： |
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 5: Guideline for the selection of materials and testing of their suitability for apparatus for sampling and sample preparation for the determination of trace elements in the range of micrograms per kilogram and nanograms per kilogram |
| 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料综合 |
| 发布日期： |
2010-03 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| ICS分类： |
半导体材料>>半导体材料 |
| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 5: Leitlinie zur Auswahl von Werkstoffen und Prüfung ihrer Eignung für Ger?te zur Probenahme und Probenvorbereitung für die Elementspuren-Bestimmung im Bereich von Mikrogramm je Kilogramm und Nanogramm je Kilogramm |
| 页数： |
11P.;A4 |
| 被代替标准： |
DIN 50451-5-2008 |
| 引用标准： |
DIN 50451-3;DIN 50451-4 |
| 内容提要（CN）： |
化学分析和试验;化学元素;化合物;定义;测定;含量测定;高纯度;杂质;液体;材料选择;材料试验;材料;材料测试;性能试验;抽样方法;选择;半导体工程;半导体工艺;半导体;试样制备;适宜性;试验;痕量元素;水;水污染;防止水污染 |
| 内容提要（EN）： |
Chemical analysis and testing;Chemical elements;Chemicals;Definitions;Determination;Determination of content;High-purity;Impurities;Liquids;Material selection;Material tests;Materials;Materials testing;Performance tests;Sampling methods;Selection;Semiconductor engineering;Semiconductor technology;Semiconductors;Specimen preparation;Suitability;Testing;Trace elements;Water;Water pollution;Water pollution prevention |
| 归属： |
德国 |
