| 标准号： |
DIN 50452-1-1995 |
| 英文名称： |
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 1: Microscopic determination of particles |
| 中标分类： |
冶金>>元素半导体材料 |
| 发布日期： |
1995-11 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
半导体材料>>半导体材料 |
| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Pruefung von Materialien fuer die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Teilchenanalytik in Fluessigkeiten - Teil 1: Mikroskopische Teilchenbestimmung |
| 页数： |
4P.;A4 |
| 被代替标准： |
DIN 50452-1-1988 |
| 内容提要（CN）： |
材料试验;液体;试验;半导体材料;材料;粒子分析;粒状物;粒子浓度;含量测定;显微分析;颗粒;定义;半导体工艺 |
| 内容提要（EN）： |
particles;materials testing;particulate matter;testing;determination of content;liquids;definition;concentration of particles;semiconductor materials;particle analysis;definitions;semiconductor technology;materials;microscopic analysis |
| 归属： |
德国 |
