| 标准号： |
DIN 50451-6-2014 |
| 英文名称： |
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH4F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution containing hydrofluoric acid |
| 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料综合 |
| 发布日期： |
2014-11 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
半导体材料>>半导体材料 |
| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Prufung von Materialien fur die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flussigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Losung (NH4F) und Atzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Losung mit Flusssaure |
| 页数： |
14P.;A4 |
| 附注： |
History:DIN 50451-6 (2014-11);DIN 50451-6 (2012-11) |
| 被代替标准： |
DIN 50451-6-2012 |
| 引用标准： |
DIN 32645-2008;DIN 50451-5-2010;DIN EN ISO 8655-2-2002;DIN EN ISO 14644-1-1997;DIN EN ISO 17294-2-2005;DIN ISO 5725-2-2002;DIN ISO 5725-4-2003 |
| 内容提要（EN）： |
Ammonium;Definitions;Elements;Etch mixtures;Fluorides;High-purity;Hydrofluoric acid;Inductively Coupled Plasma;Inter-laboratory tests;Liquids;Mass spectrometry;Materials testing;Samples;Sampling methods;Semiconductor technology;Semiconductors;Testing;Ring tests;ICP |
| 内容提要（QT）： |
Atzmischung;Ammonium;Begriffe;Definition;Element;Flussigkeit;Fluorid;Flusssaure;Halbleiter;Halbleitertechnologie;hochrein;ICP;Massenspektrometrie;Materialprufung;Probe;Probenahme;Prufung;Prufverfahren;Ringversuch |
| 归属： |
德国 |
