| 标准号： |
DIN 32567-5-2015 |
| 英文名称： |
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 5: Derivation of correction values for optical measuring devices |
| 中标分类： |
0>>0 |
| 发布日期： |
2015-06 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
精密机械>>精密机械 |
| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Fertigungsmittel fur Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflussen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 5: Ableitung von Korrekturwerten fur optische Messgerate |
| 页数： |
18P.;A4 |
| 附注： |
History:DIN 32567-5 (2015-06);DIN 32567-5 (2014-11) |
| 被代替标准： |
DIN 32567-5-2014 |
| 引用标准： |
DIN 32564-1-2004;DIN 32567-1-2015;DIN EN ISO 25178-602-2011;DIN EN ISO 25178-603-2014;DIN EN ISO 25178-604-2013;DIN EN ISO 25178-605-2014;VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010 |
| 内容提要（QT）： |
Abweichung;Anlagenbau;Anlagentechnik;Einflussfaktor;Feinmechanik;Fertigung;Fertigungseinrichtung;Fertigungsmittel;Fertigungstechnik;Halbleitertechnik;Korrekturwert;Material;Messbedingung;Messgerat;Messtechnik;Messung;Messverfahren;Mikrotechnik;Oberflache;Oberflachenmessgerat;optisch;physikalische Eigenschaft;Prufkorper;qualitativ;Schichtdicke;Schichtdickenmessung;taktil;Topographie;Werkstuck |
| 归属： |
德国 |
