| 标准分类 Standards |
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| 中文名称：采用X射线反射计对薄膜厚度, 密度和接口宽度的评估. 仪器要求. 校准和定位, 数据收集, 数据分析和报告 |
| 标准号:BS ISO 16413-2013 |
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| 标准号： |
BS ISO 16413-2013 |
| 英文名称： |
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry. Instrumental requirements alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting |
| 中标分类： |
综合>>长度计量 |
| 发布日期： |
2013-03-31 |
| 发布单位： |
GB-BSI |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2013-03-31 |
| ICS分类： |
信息技术在自然科学中的应用>>信息技术在自然科学中的应用 |
| 起草单位/标准公告： |
BSI |
| 正文语言： |
英语 |
| 页数： |
42P;A4 |
| 采用关系： |
ISO 16413-2013,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Data analysis;Data collection;Definitions;Density;Evaluations;Foil;Interfaces;Measurement;Measuring instruments;Measuring techniques;Methods of analysis;Positioning;Reflexions;Specification (approval);Surfaces;Testing;Thickness;Thin films;X-ray;X-ray analysis |
| 归属： |
英国 |
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