| 标准号： |
ASTM F1094-1987(2012) |
| 英文名称： |
Standard Test Methods for Microbiological Monitoring of Water Used for Processing Electron and Microelectronic Devices by Direct Pressure Tap Sampling Valve and by the Presterilized Plastic Bag Method |
| 中标分类： |
化工>>合成树脂、塑料基础标准与通用方法 |
| 发布日期： |
1987 |
| 发布单位： |
US-ASTM |
| 标准状态： |
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| 确认日期： |
2012 |
| ICS分类： |
水微生物学>>水微生物学 |
| 起草单位/标准公告： |
F01.10 |
| ***： |
Test |
| 页数： |
5P.;A4 |
| 内容提要（EN）： |
contamination; microbiological contamination; microbiological testing; semiconductor processing; water; water distribution system |
| 归属： |
美国 |
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