标准号: |
ASTM F1094-1987(2012) |
英文名称: |
Standard Test Methods for Microbiological Monitoring of Water Used for Processing Electron and Microelectronic Devices by Direct Pressure Tap Sampling Valve and by the Presterilized Plastic Bag Method |
中标分类: |
化工>>合成树脂、塑料基础标准与通用方法 |
发布日期: |
1987 |
发布单位: |
US-ASTM |
标准状态: |
请与本站工作人员进行确认 |
确认日期: |
2012 |
ICS分类: |
水微生物学>>水微生物学 |
起草单位/标准公告: |
F01.10 |
***: |
Test |
页数: |
5P.;A4 |
内容提要(EN): |
contamination; microbiological contamination; microbiological testing; semiconductor processing; water; water distribution system |
归属: |
美国 |
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