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中文名称：掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
标准号:GB/T 13389-1992
价格：￥0.00
标准号： GB/T 13389-1992
英文名称： Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon
中标分类： 冶金>>金属物理性能试验方法
发布日期： 1992
发布单位：
标准状态： 作废
实施日期： 19921001
ICS分类： 0>>0
正文语言： 中文
页数： 19
代替标准： 被GB/T 13389-2014代替
被代替标准：
采用关系： ASTM F723,MOD
内容提要（CN）： 本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。 本标准适用于掺杂剂浓度10<上标12>～10<上标21>cm<上标-3>（电阻率0.0001～10，000Ω·cm）掺硼硅单晶和10<上标12>～5×10<上标20>cm<上标-3>（电阻率0.0002～4，000Ω·cm）掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算，也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。
归属： 中国
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