| 标准号： |
JIS H0602-1995 |
| 英文名称： |
Testing method of resistivity for silicon crystals and silicon wafers with four-point probe |
| 中标分类： |
冶金>>元素半导体材料 |
| 发布日期： |
1995-11-01 |
| 发布单位： |
JP-JISC |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| ICS分类： |
半导体材料>>半导体材料 |
| 起草单位/标准公告： |
Technical Committee on Electronics |
| 正文语言： |
日语 |
| 原文名称： |
シリコンタンケッショウオヨビシリコンウェーハノ４タンシンホウニヨルテイコウリツソクテイホウホウ |
| 页数： |
14P;A4 |
| 内容提要（CN）： |
硅;电阻率;材料的电学性质;电阻测量;晶体(电子);电气试验;晶体 |
| 内容提要（EN）： |
electrical resistivity;electrical properties of materials;silicon;resistance measurement;electrical testing;crystals; |
| 归属： |
日本 |
