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中文名称：用于电子薄膜的纯铝(非合金)材料标准规范
标准号:ASTM F1513-1999(2011)
标准号： ASTM F1513-1999(2011)
英文名称： Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications
中标分类： 电子元器件与信息技术>>电子技术专用材料
发布日期： 1999
发布单位： US-ASTM
标准状态： 请与本站工作人员进行确认
确认日期： 2011
ICS分类： 集成电路、微电子学>>集成电路、微电子学
起草单位/标准公告： F01.17
***： Spec
正文语言： 英语
页数： 2P.;A4
内容提要（EN）： aluminum; coating; evaporation; sputtering; targets; thin films; vacuum coating; Aluminum electrical conductors (semiconductors); Electronic materials/applications--specifications; Electronic thin-film applications--specifications; Evaporators/evaporation--specifications; Sputtering process/targets--specifications; Targets; Vacuum electronic applications
归属： 美国
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