| 标准号： |
NF C96-050-10-2012 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: micro-pillar compression test for MEMS materials |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2012-12-01 |
| 发布单位： |
FR-AFNOR |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2012-12-14 |
| ICS分类： |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
| 正文语言： |
其他 |
| 原文名称： |
Dispositifs ? semiconducteur. Dispositifs microélectromécaniques. Partie 10: essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS |
| 页数： |
15P;A4 |
| 采用关系： |
EN 62047-10-2011,IDT;IEC 62047-10-2011,IDT;IEC 62047-10 CORRIGENDUM 1-2012,IDT |
| 内容提要（CN）： |
压缩;抗压应力;压缩试验;尺寸规格;电气工程;材料;测量;测量技术;微电子学;微系统工艺;压力试验;性能;样品;半导体器件;系统工程;拉伸应变;抗拉测试;试验;测试装置;试验体系;薄膜;薄膜器件;薄膜工艺 |
| 内容提要（EN）： |
Compression;Compression stresses;Compression tests;Dimensions;Electrical engineering;Materials;Measurement;Measuring techniques;Microelectronics;Microsystem techniques;Pressure tests;Properties;Samples;Semiconductor devices;System engineering;Tensile strain;Tensile testing;Testing;Testing devices;Testing system;Thin films;Thin-film devices;Thin-film technology |
| 归属： |
法国 |
