| 标准号： |
DIN EN 62047-6-2010 |
| 英文名称： |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (IEC 62047-6:2009); German version EN 62047-6:2010 |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>半导体分立器件综合 |
| 发布日期： |
2010-07 |
| 发布单位： |
DE-DIN |
| 标准状态： |
请与本站工作人员进行确认 |
| 实施日期： |
2010-07-01 |
| ICS分类： |
半导体器件综合>>半导体器件综合 |
| 正文语言： |
德语 |
| 原文名称： |
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen (IEC 62047-6:2009); Deutsche Fassung EN 62047-6:2010 |
| 页数： |
17P;A4 |
| 被代替标准： |
DIN IEC 62047-6-2007 |
| 采用关系： |
EN 62047-6-2010,IDT;IEC 62047-6-2009,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Base materials;Definitions;Dimensions;Electrical engineering;Fatigue;Fatigue limit;Materials;Microelectronics;Microsystem techniques;Room air temperature;Samples;Semiconductor devices;Specification (approval);System engineering;Tensile strain;Tensile testing;Testing;Testing devices;Testing system;Thin films;Thin-film devices;Thin-film technology |
| 归属： |
德国 |
