| 标准号： |
EN ISO 14644-14-2016 |
| 英文名称： |
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016); German version EN ISO 14644-14:2016 |
| 中标分类： |
环境保护>>污染控制技术规范 |
| 发布日期： |
2017-01 |
| 发布单位： |
EN |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
0>>0 |
| 正文语言： |
英语 |
| 原文名称： |
Reinr?ume und zugeh?rige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Ger?ten durch Partikelkonzentration in der Luft (ISO 14644-14:2016); Deutsche Fassung EN ISO 14644-14:2016 |
| 页数： |
30P.;A4 |
| 附注： |
History:DIN EN ISO 14644-14 (2017-01);DIN EN ISO 14644-14 (2014-11) |
| 被代替标准： |
EN ISO 14644-14-2014 |
| 引用标准： |
DIN EN ISO 14644-1-2016;ISO 8573-8-2004;ISO 14644-1-2015;ISO 14644-3-2005;ISO 14644-7-2004;ISO 14644-9-2012;JIS B 9926 (1991-03-01);VDI 2083 Blatt 9.1 (2006-12);AIR 1167;SEMI E49-1104;SEMI F28-1103;SEMI F70-0611;SEMI G67-0996 |
| 采用关系： |
DIN EN ISO 14644-14-2017,IDT;ISO 14644-14-2016,IDT |
| 内容提要（EN）： |
Air pollution;Air purity;Air quality;Airborne dust;Capability;Categories of purity;Classification;Classification systems;Clean rooms;Cleanliness;Clean-room technology;Concentration;Concentration of particles;Consistency;Definitions;Degree of purity;Determination of content;Documentation;Exterior areas;Fitness for purpose;Impurities;Instruments;Light scatter measurement;Measuring instruments;Methods;Number of particles;Particle analysis;Particle size;Particle size distribution;Particles;Particulate air pollutants;Processes;Pure air;Purity criterion;Purity test;Suitability;Testing;Procedures;Fitness |
| 内容提要（QT）： |
Au?enbereich;Begriffe;Definition;Dokumentation;Eignung;Flugstaub;Gebrauchstauglichkeit;Gehaltsbestimmung;Ger?t;Klassifikation;Klassifizierung;Konzentration;Korngr??enverteilung;Luftqualit?t;Luftreinheit;Luftverschmutzung;Messger?t;Partikel;Partikelgr??e;Partikelkonzentration;Prüfung;Prüfverfahren;Reinheitsgrad;Reinheitsklasse;Reinheitskriterium;Reinheitsprüfung;Reinluft;Reinraum;Reinraumtechnik;Sauberkeit;Schwebstoff;Streulichtmessung;Tauglichkeit;Teilchenanalyse;Teilchenanzahl;übereinstimmung;Verfahren;Verunreinigung |
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