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中文名称：洁净室和相关控制环境. 第14部分: 利用气载颗粒浓度评定设备的适合性
标准号:ISO 14644-14-2016
标准号： ISO 14644-14-2016
英文名称： Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
中标分类： 环境保护>>污染控制技术规范
发布日期： 2016-09
发布单位： IX-ISO
标准状态： 请与本站工作人员进行确认
ICS分类： 0>>0
起草单位/标准公告： ISO/TC 209 Reinr?ume und zugeh?rige Reinraumbereiche;ISO/TC 209 Cleanrooms and associated controlled environments;ISO/TC 209 Salles propres et environnements ma?trisés apparentés
正文语言： 英语
页数： 21P.;A4
被代替标准： ISO/FDIS 14644-14-2016
引用标准： ISO 8573-8-2004;ISO 14644-1-2015;ISO 14644-3-2005;ISO 14644-7-2004;ISO 14644-9-2012;JIS B 9926-1991;VDI 2083 Blatt 9.1-2006;AIR 1167;SEMI E49-1104;SEMI F28-1103;SEMI F70-0611;SEMI G67-0996
采用关系： DIN EN ISO 14644-14-2017,IDT;BS EN ISO 14644-14-2016,IDT;EN ISO 14644-14-2016,IDT;NF X44-101-14-2016,IDT;SN EN ISO 14644-14-2016,IDT;OENORM EN ISO 14644-14-2017,IDT;PN-EN ISO 14644-14-2016,IDT;TS EN ISO 14644-14-2016,IDT;DS/EN ISO 14644-14-2017,IDT;UNI EN ISO 14644-14-2016-2016,IDT;NEN-EN-ISO 14644-14-2016 en-2016,IDT
归属： 国际
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ISO 14644-14-2016 洁净室和相关控制环境. 第14部分: 利用气载颗粒浓度评定设备的适合性  
EN ISO 14644-14-2016 洁净室和相关控制环境.第14部分:利用气载颗粒浓度评定设备的适合性(ISO 14644-14-2016);德文版本EN ISO 14644-14-2016  
DIN EN ISO 14644-14-2017 洁净室和相关控制环境.第14部分:利用气载颗粒浓度评定设备的适合性(ISO 14644-14-2016);德文版本EN ISO 14644-14-2016  

 

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