| 标准号： |
ISO 14237-2010 |
| 英文名称： |
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials |
| 中标分类： |
0>>0 |
| 发布日期： |
2010-07 |
| 发布单位： |
IX-ISO |
| 标准状态： |
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| ICS分类： |
化学分析>>化学分析 |
| 起草单位/标准公告： |
ISO/TC 201 |
| 正文语言： |
英语 |
| 页数： |
26P;A4 |
| 被代替标准： |
ISO 14237-2000;ISO/DIS 14237-2009 |
| 引用标准： |
ISO 17560;ISO 18114 |
| 采用关系： |
BS ISO 14237-2010,IDT;NF X21-070-2010,IDT;NEN-ISO 14237-2010 en-2010,IDT |
| 内容提要（CN）： |
硼;校准;化学分析和试验;浓缩值;晶体;含量测定;掺杂剂;精整;公式;质谱学;定量分析;次级离子质谱分析法;硅;光谱测定法 |
| 内容提要（EN）： |
Boron;Calibration;Chemical analysis and testing;Concentration values;Crystals;Determination of content;Doping agents;Finishes;Formulae (mathematics);Mass spectrometry;Quantitative analysis;Secondary-ion mass spectrometry;Silicon;Spectrometry |
| 归属： |
国际 |
